PFAS規制に対応するため、自主的な取り組みや代替技術開発を進めている。
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PFASへの対応 PFASのうち、PFOS・PFOA・PFHxSは、「化学物質の審査及び製造等の規制に関する法律」により使用が禁止されてい るため、半導体工場においても使用されることはない。 飲み水を 経由した健康リスクを低減する観点では、PFOS及びPFOAについて、水道事業者等に対して水質検査及び基 準遵守等を新たに義務付ける水道法に基づく省令改正の手続きが関係省庁において進められているところ (2026年4 月1日施行予定)。また、PFOS及びPFOA以外のPFASについては、非常に数が多く、有害性や環境中の濃度など科 学的知見が十分に得られていないことから、関係省庁がその知見の充実に努めている。 こうした中、JASM社やラピダス社等においては、排水に係る法規制がない中、排水や排出に係る自主的な対応を実施。 また、一部のメーカーにおいては、PFASフリーの部素材の研究開発も進んでいる。 経済産業省では、国内産業の持続的活動と新たな事業機会の創出に貢献することを目的とし、PFASの代替技術等に 関する最新動向、社会実装に向けた課題等の調査・分析を進めているところ。 いずれにせよ、法令を遵守しつつ、半導体全体の安定供給やサプライチェーン上の重要性・喫緊性・技術的 難易度等も踏まえ、必要なPFAS代替技術や収集・貯留・分解・リサイクル技術を含むPFAS排出削減技術を 優先順位を付けながら検討していくことが重要である。 <JASM社およびラピダス社等の自主的な取組み> 規制対象外のPFASが含まれる可能性がある材料は、使用後回収し、産業廃棄物として専門の外部業者に引き渡し 工場で使用した水は、PFASの吸着効果がある活性炭により処理した上で排水。 関係自治体と連携し、定期的なサンプリングのもと自主管理。 65